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產(chǎn)品簡介
伯東 KRI 聚焦型射頻離子源 RFICP 380 輔助離子束濺射鍍制 SiO_2薄膜
伯東 KRI 聚焦型射頻離子源 RFICP 380 輔助離子束濺射鍍制 SiO_2薄膜
產(chǎn)品價(jià)格:¥11
上架日期:2020-10-15 13:36:00
產(chǎn)地:美國
發(fā)貨地:本地至全國
供應(yīng)數(shù)量:不限
最少起訂:1臺
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詳細(xì)說明

    二氧化硅 (SiO_2) 薄膜具有硬度高、耐磨性好、絕緣性好等優(yōu)點(diǎn)常作為絕緣層材料在薄膜傳感器生產(chǎn)中得到廣泛應(yīng)用. 某光學(xué)薄膜制造商為了獲得高品質(zhì)的 SiO_2薄膜引進(jìn)伯東 KRI 聚焦型射頻離子源 RFICP 380輔助離子束濺射鍍制SiO_2薄膜.

     

    該制造商的離子束濺射鍍膜組成系統(tǒng)主要由濺射室、雙離子源、濺射靶、基片臺、真空氣路系統(tǒng)以及控制系統(tǒng)等部分組成.

     

    離子源濺射離子源采用進(jìn)口的 KRI 聚焦型射頻離子源 RFICP 380, 其參數(shù)如下:

     

    伯東 KRI 聚焦型射頻離子源 RFICP 380 技術(shù)參數(shù):

    射頻離子源型號

    RFICP 380

    Discharge 陽極

    射頻 RFICP

    離子束流

    >1500 mA

    離子動(dòng)能

    100-1200 V

    柵極直徑

    30 cm Φ

    離子束

    聚焦

    流量

    15-50 sccm

    通氣

    Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

    典型壓力

    < 0.5m Torr

    長度

    39 cm

    直徑

    59 cm

    中和器

    LFN 2000

     

    推薦理由:

    1. 聚焦型濺射離子源一方面可以增加束流密度, 提高濺射率

    2. 另一方面減小離子束的散射面積, 減少散射的離子濺射在靶材以外的地方引起污染

     

    其真空氣路系統(tǒng)真空系統(tǒng)需要沉積前本底真空抽到 8×10-4 Pa, 經(jīng)推薦采用伯東泵組  Hicube 80 Pro, 其技術(shù)參數(shù)如下:

     

    分子泵組 Hicube 80 Pro 技術(shù)參數(shù):

    進(jìn)氣法蘭

    氮?dú)獬樗?br />  N2,l/s

    極限真空 hpa

    前級泵

    型號

    前級泵抽速
     m3/h

    前級真空
    安全閥

    DN 40 ISO-KF

    35

    < 1X10-7

    Pascal 2021

    18

    AVC 025 MA

     

    運(yùn)行結(jié)果:

    1. SiO_2薄膜沉積速率比以前更加快速
    2. 薄膜均勻性明顯提高
    3. 成膜質(zhì)量高、膜層致密、缺陷少

     

    伯東是德國 Pfeiffer 真空泵檢漏儀質(zhì)譜儀真空計(jì), 美國 KRI 考夫曼離子源, 美國HVA 真空閥門, 美國 inTEST 高低溫沖擊測試機(jī), 美國 Ambrell 感應(yīng)加熱設(shè)備和日本 NS 離子蝕刻機(jī)等進(jìn)口知名品牌的指定代理商.

     

     

    若您需要進(jìn)一步的了解詳細(xì)信息或討論, 請參考以下聯(lián)絡(luò)方式:

    上海伯東: 羅先生                               臺灣伯東: 王女士
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