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KRI 考夫曼離子源 KDC 160
上海伯東代理美國原裝進(jìn)口 KRI 考夫曼離子源 KDC 160是目前考夫曼 KDC 系列最大,離子能量的柵極離子源, 適用于已知的所有離子源應(yīng)用, 離子源 KDC 160 高輸出設(shè)計(jì),最大電流超過 1000 mA. 無需水冷, 降低安裝要求并排除腔體漏水的幾率, 雙陰極設(shè)計(jì),標(biāo)準(zhǔn)配置下離子能量范圍 100 至 1200ev, 離子電流可以超過 800 mA.
KRI 考夫曼離子源 KDC 160 技術(shù)參數(shù)
型號 |
KDC 160 |
供電 |
DC magnetic confinement |
- 陰極燈絲 |
2 |
- 陽極電壓 |
0-100V DC |
電子束 |
OptiBeam? |
- 柵極 |
專用, 自對準(zhǔn) |
-柵極直徑 |
16 cm |
中和器 |
燈絲 |
電源控制 |
KSC 1212 |
配置 |
- |
- 陰極中和器 |
Filament, Sidewinder Filament 或LFN 2000 |
- 安裝 |
移動(dòng)或快速法蘭 |
- 高度 |
9.92' |
- 直徑 |
9.1' |
- 離子束 |
聚焦 |
-加工材料 |
金屬 |
-工藝氣體 |
惰性 |
-安裝距離 |
8-45” |
- 自動(dòng)控制 |
控制4種氣體 |
* 可選: 可調(diào)角度的支架
KRI 考夫曼離子源 KDC 160 應(yīng)用領(lǐng)域
濺鍍和蒸發(fā)鍍膜 PC
輔助鍍膜(光學(xué)鍍膜)IBAD
表面改性, 激活 SM
離子濺射沉積和多層結(jié)構(gòu) IBSD
離子蝕刻 IBE
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上海伯東: 羅先生 臺(tái)灣伯東: 王女士
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