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反應艙

材料: 鋁
有效尺寸: 500 x 400 x 445mm
容積: 89L
艙門: 裝有可視窗口
托盤: 2個    尺寸: 360 x 360mm

真空度測量

皮拉尼真空計

真空泵

干式真空泵泵組

頻射發(fā)生器

根據客戶應用需求定制

控制系統(tǒng)

PLC可實現下列功能:

• 自動控制反應過程;
• 根據處理材料設定不同的處理工藝參數;
• 測定真空泵壓力、抽真空時間、充氣速度、工作壓力、處理時間、溫度、射頻發(fā)生器功率等指標;
• 監(jiān)測所有的運行指標, 保證各項參數在設定范圍之內;
• 設定操作進入密碼.

電源

380V AC, 三相, 50Hz, 40A

反應氣體

兩個氣體輸入端口, 含氣體流量控制器（MFC）

反應單體

獨立液態(tài)單體輸入系統(tǒng)

氣體輸入

直徑1/4英寸（6.45mm） 管道; 輸入壓力: 1Bar

尾氣排放

直徑28mm 輸出端口

性能

急停開關; 真空泵保護鎖; 高溫保護鎖; CE認證.